Πώς να χρησιμοποιήσετε το καθαριστικό υπερήχων για να καθαρίσετε τα τσιπ μονοκρυσταλλικού πυριτίου στη βιομηχανία ημιαγωγών;

Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας υλικών ημιαγωγών, τίθενται επίσης υψηλότερες απαιτήσεις για τις προδιαγραφές και την ποιότητα των πλακών πυριτίου και η ζήτηση για γκοφρέτες πυριτίου μεγάλης διαμέτρου κατάλληλες για μικροεπεξεργασία θα αυξάνεται ολοένα και περισσότερο στην αγορά. Οι ημιαγωγοί, τα τσιπ, τα ολοκληρωμένα κυκλώματα, ο σχεδιασμός, η διάταξη, τα τσιπ, η κατασκευή και οι διεργασίες χρησιμοποιούνται σήμερα ευρέως παγκοσμίως με προηγμένες διαδικασίες κοπής, λείανσης, στίλβωσης και καθαρής συσκευασίας, σημειώνοντας σημαντική πρόοδο στην τεχνολογία παραγωγής φιλμ. Η εισαγωγή της τελευταίας τεχνολογίας αιχμής οδήγησε στη δοκιμαστική παραγωγή και ανάπτυξη τσιπ υψηλής απόδοσης όπως το SOI που εισέρχεται στο στάδιο της μαζικής παραγωγής. Σε απάντηση, οι κατασκευαστές πλακιδίων πυριτίου αύξησαν επίσης τις επενδύσεις τους σε εξοπλισμό για γκοφρέτες πυριτίου 300 mm, με περαιτέρω βελτίωση των κανόνων σχεδιασμού. Με τη χρήση τεχνολογίας καθαρισμού υπερήχων, η συχνότητα υπερήχων σαρώνεται εμπρός και πίσω σε εύλογο εύρος κατά τη διαδικασία καθαρισμού, οδηγώντας το διάλυμα καθαρισμού σε μια λεπτή παλινδρόμηση, η οποία απομακρύνει γρήγορα τη βρωμιά από την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας ενώ αποκολλάται από τον υπερήχο , βελτιώνοντας έτσι την αποτελεσματικότητα καθαρισμού.

Μέθοδος καθαρισμού με υπερήχους και κατεύθυνση τοποθέτησής του

Τοποθετήστε τις πλυμένες και αλεσμένες γκοφρέτες σιλικόνης οριζόντια σε ένα πλαίσιο ράβδου χαλαζία σε σχήμα φράχτη πάνω από το κάτω μέρος της δεξαμενής καθαρισμού. Υπό την προϋπόθεση να διασφαλίσετε ότι υπάρχει απιονισμένο ύψος νερού και συνεχής ροή στη δεξαμενή καθαρισμού, χρησιμοποιήστε έναν ταλαντωτή υπερήχων που βρίσκεται στο κάτω μέρος της δεξαμενής καθαρισμού για τον καθαρισμό. Η συχνότητα υπερήχων είναι 40KHz. Αναποδογυρίζετε τις αλεσμένες γκοφρέτες σιλικόνης κάθε 5 λεπτά και συνεχίζετε το πλύσιμο μέχρι να μην εμφανιστούν μαύροι ρύποι στην επιφάνεια των πλυμένων πλυμένων πλακών σιλικόνης. Το τοίχωμα της δεξαμενής καθαρισμού για τον υπερηχητικό καθαρισμό πλακών μονοκρυστάλλου πυριτίου είναι εξοπλισμένο με είσοδο και έξοδο και το κάτω μέρος της δεξαμενής είναι εξοπλισμένο με ταλαντωτή υπερήχων. Μέσα στη δεξαμενή καθαρισμού, υπάρχει πλαίσιο για την τοποθέτηση μονοκρυστάλλων γκοφρετών πυριτίου. Το κάτω τοίχωμα του πλαισίου σχηματίζεται από μια ράβδο χαλαζία σε σχήμα φράχτη και το επίπεδο είναι χαμηλότερο από το επίπεδο του απιονισμένου νερού. Ολόκληρο το πλαίσιο υποστηρίζεται από πόδια στήριξης στη δεξαμενή καθαρισμού.

Κατά τη συγκεκριμένη υλοποίηση, η απόσταση μεταξύ της ράβδου χαλαζία και του κάτω τοιχώματος της δεξαμενής καθαρισμού είναι 15 εκατοστά. Κατά τον καθαρισμό, η γκοφρέτα μονοκρυσταλλικής σιλικόνης μπορεί να τοποθετηθεί επίπεδη σε ράβδο χαλαζία, αντικαθιστώντας την υπάρχουσα κατακόρυφη υπερπλύση με μια επίπεδη υπερπλύση, εξαλείφοντας το φαινόμενο της συσσώρευσης υπολειμματικών ρύπων στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου σε κατακόρυφη κατάσταση υπερπλύματος, με αποτέλεσμα ακάθαρτο καθάρισμα των τοπικών περιοχών. Επιπλέον, το μαλακό καλάθι λουλουδιών που μεταφέρει τη γκοφρέτα πυριτίου μπορεί να απορροφήσει και να εμποδίσει τη μετάδοση υπερηχητικών κυμάτων, με αποτέλεσμα τον ακάθαρτο καθαρισμό των τοπικών περιοχών στην επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου. Έχει τα πλεονεκτήματα της απλούστερης δομής και της μειωμένης κατανάλωσης νερού.